太陽電池材料製造用ガス リサイクル技術開発──住友精化 世界初 供給下支え / クリッピング NIKKEI NET
・太陽電池材料製造用ガス リサイクル技術開発──住友精化 世界初 供給下支え-----NIKKEI NET,2009/05/06
" .....同社は独自開発の吸着技術を使って純度99.999％のアルゴンを回収できるようにした。シリコン工場で消費するアルゴンガスの70％を再利用できるという。 "
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